序号

No.

项目

Item

ITO靶材大型气氛烧结炉

Large-scale ITO target materials atmosphere sintering kiln

2

有效堆料尺寸

Effective Stockpile Dimensions(WxLxH)

800W×1600D×500H

3

最高使用温度

Maximum operation temperature

1650℃(正常使用温度1600℃)

1650℃(Normal operation temperature 1600℃)

4

控温区数量

Groups of temperature control zones

4温区

4 temperature control zones

5

温度控制精度

Accuracy of temperature control

±1℃

6

温度均匀性

Temperature homogeneity

±5℃

7

升温速率

Heat-up rate

300℃/h

8

降温速率

Cooling rate

13h（1000℃～200℃）

10

窑炉气氛

Atmosphere inside kiln

空气、氧气

Air, oxygen

15

最大加热功率

Maximum sintering power

210kw